SWB200型晶圆键合设备薄膜式隔振器如何选型
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2025-12-23 15:00:51
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SWB200型晶圆键合设备隔振器选型指南
在精密制造领域，如SWB200型晶圆键合设备，微小的振动都可能影响产品良率。选择合适的薄膜式隔振器是关键。
选型核心要素：
设备固有频率与隔振器固有频率： 隔振器的固有频率应远低于设备可能受到的最低激励频率，通常建议隔振器固有频率是设备固有频率的1/3或更低。这样才能有效隔离振动。
负载能力： 确保隔振器能承受SWB200设备的静态和动态载荷。过载会导致性能下降甚至损坏。
阻尼特性： 薄膜式隔振器通常阻尼较低，对于高频振动效果好。根据实际环境的振动特性，必要时可考虑辅助阻尼措施。
安装空间与方式： 考虑设备下方可用的安装空间，以及隔振器的固定方式是否与设备底座匹配。
SWB200型设备 对微振动尤为敏感，因此在进行隔振器选型时，务必仔细评估上述参数。专业的技术咨询和实地测试能帮助您做出最精准的选择，确保SWB200型晶圆键合设备稳定运行。
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